Traitements de surface par plasmas micro-ondes
Contact : Olivier LEROY
Un réacteur micro-ondes basse pression de grand diamètre pour le dépôt de couches minces ou le traitement de surfaces peut être utilisé comme source d’espèces actives pour des travaux intéressant des chercheurs travaillant à l’interface chimie-biologie.
Les travaux entrepris il y a quelques années sur la fonctionnalisation de surfaces de PET et le greffage ou la polymérisation de sucres organiques en collaboration avec l’équipe de Philippe Roger du Laboratoire de Chimie Organique Multifonctionnelle de l’ICMMO (Institut de Chimie Moléculaire et Matériaux d’Orsay) trouvent un intérêt important en particulier pour des applications biologiques (catalyse enzymatique, biocompatibilité). Là encore, une corrélation systématique est recherchée entre propriétés fonctionnelles des surfaces et conditions de décharge et propriétés du plasma.
a) tube à décharge
b) chambre de diffusion
c) porte-échantillon mobile
d) guide d'ondes et surfaguide
Un autre dispositif issu de nos travaux sur la génération de micro-décharges dans des capillaires consiste en une micro-torche microonde. Contrairement au dispositif précédent, celui-ci est particulièrement adapté pour les traitements de surfaces de petite taille. Il présente aussi l'avantage de déboucher à la pression atmosphérique (donc sans dispositif de pompage), comme illustré ci-dessous:
