Power coupling and plasma parameters of low-pressure microwave argon discharges in capillaries: comparison between surfatron and striplastron launchers
O. Leroy, F. Coquery, T. Minea, and G.D. Stancu – Vacuum, Volume 252, September 2026, 115429
Cet article présente une comparaison des caractérisations macroscopiques de plasmas continus générés par micro-ondes à partir d’ondes de surface dans des tubes capillaires diélectriques (diamètre interne de l’ordre de 1 mm), à l’aide de deux excitateurs différents : un surfatron et un striplastron. Des paramètres tels que la fraction de puissance couplée, la densité de puissance et la longueur du plasma sont déterminés en fonction de la puissance micro-ondes injectée (0-50 W), de la fréquence micro-ondes (2,4-2,5 GHz) et du débit de gaz (300-700 ml/min). Toutes les caractérisations sont réalisées dans des micro-décharges d’argon fonctionnant dans un flux de gaz à basse pression (1-600 mbar). https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2026.115429